1、---气的轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。
2、---离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶---离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中---离子通过的各个缝隙，从而提高---离子的传输率。
3、---在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中---气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。
---质谱检漏仪实际上可以说是一个检---仪，通过检测---气的含量来确定是否有泄漏。而对---的检测则使用的是质谱仪，是只检测---的质谱仪，这种质谱仪将其它数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
(1)、电机内维持氢的纯度为97％时，其密度只有空气的十分之一，所以电机的通风损耗及转子表面对气体的摩擦损耗都---减小。
(2)、氢的导热系数为空气的6.69倍，它可以使绝缘内间隙及其它间隙的导热能力---，从而有利于加强发电机的冷却。
(3)、由于氢气的表面散热能力强(纯度为97％的氢气表面散热系数约为空气的1.35倍)，发电机的损耗可由氢气很快带走。因此，能使发电机的出入口风温差降低10～15℃左右。增加氢压还可使散热能力按压力的0.8次方增加。
(4)、经过严格处理的冷用氢气可以---发电机内部清洁，通风散热效果稳定，而且不会产生由于脏污引起的事故。
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