




(1) 漏率校准 校准系统的组成
校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的---质谱检漏仪组成。
示值误差
通电预热,待---质谱检漏仪启动完成后,采用标准漏孔对---质谱检漏仪进行校准,将一经过校准的标准漏孔接入---质谱检漏仪系统,运行---质谱检漏仪,待漏率示值稳定后,可以读出标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值,同一标准漏孔测量三次,计算---质谱检漏仪示值平均值,从而得到标准漏孔漏率与---质谱检漏仪示值平均值的示值误差。结束后,将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入---质谱检漏仪系统进行测试,得到---质谱检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。
如果测试结果有较大编差,可以考虑---质谱检漏仪的自校功能,待完成后,再用标准漏孔进行测试。
重复性
测量重复性是用实验标准偏差表征的,本校准方法采用极差法来表征重复性。在示值误差测量中,每一标准漏孔用---质谱检漏仪重复测量三次,可用公式(2)计算---质谱检漏仪在该漏率下的重复性。
今天和大家分享的是---质谱检漏仪的校准方法,如您想了解更多的产品信息,您可拨打图片上的电话进行咨询!
检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度,正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时,在漏点处喷射---气5~10s后,检漏仪就发生响应,对于如此庞大的真空系统,其反应是相当的灵敏。
检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上---气在真空系统中的传递时间,即为两次喷---的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。笔者根据实测经验,汽车空调检漏设备,两次喷---的较小间隔时间控制在30s左右,即如果次喷---后30s内检漏仪还没有反应,则可进行第二次喷---。
清除时间在理论上与响应时间相同,但由于仪器零件对---的吸附和脱附作用的影响,清除时间一般要更长些。笔者---,在测试到数量级为10-9p a ?m3/s的微漏漏点时,清除时间约须1分钟;在测试到数量级为10-8p a ? m3/s的中漏漏点时,清除时间约须2分钟;在测试到数量级为10-7pa?m3/s的大漏漏点时,清除时间在3分钟左右。
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---质谱检漏仪原理的---质谱检漏仪特点:
1.检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;
2.检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;
3.不会受到主观因素判断的影响;
4.检测的数据;
5.自动生成数据保存,可追溯数据来源。
---质谱检漏仪进展的集中体现在如下几个方面:
(1)便携式:zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可---数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准---峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,范围很宽,不仅可检测---气,而且能检测其它气体。
---质谱检漏仪能为不同的应用提供广泛的测试方法,含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面,以及可选功能组件。---质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。

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