钠焰法
钠焰法的测试尘源为多分散相---盐雾，“量”为含盐雾燃烧时氢气火焰的亮度。
盐水在压缩空气的搅动下飞溅，经干燥形成微小盐晶体颗粒并进入风道，在过滤器前后分别采样。
含盐雾气样使氢气火焰的颜色变蓝、亮度增加，包膜式---检漏系统，以火焰的亮度来判断空气的盐雾浓度，并以此确定过滤器对盐雾的过滤效率。
主要检测仪器为火焰光度计，该方法只能海绵检测灵敏度不高，高压柜---检漏系统，不能对超过滤器检测。
可实时监测氢气、co2的纯度。气体置换时主要通过气体纯度监测装置的样气进口来监控气体纯度；量程气进口只在置换时用，可实时调看供氢纯度或供co2纯度。参比空气进口为调试时用。纯度仪回气排空
工作原理：
仪器由特殊设计的风机，压差交送器及压差计组成，实际则是风机产生的压差，但由于此压差值与气体的密度有关，而气体密度又直接与气体的成分成比例，故只要测出风机压差就等于测出了气体密度，实际上两只压差计是直接按密度和纯度标注的。
1、---气的轻，柜---检漏系统，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。
2、---离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶---离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，---检漏系统，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中---离子通过的各个缝隙，从而提高---离子的传输率。
3、---在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中---气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。
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