




设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便,检测迅速等特点,是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器,
其测量工作原理如下。---质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计,用---气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子。分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同,在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,在设计时只让---离子飞出分析器的缝隙,打在收集器上。收集放大器收集---离子流并送入到电流放大器,通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。
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一个真空系统(或容器)要求做到绝dui不漏气是不现实的,也是没有---的,所以就要根据真空系统实际应用的具体条件,对漏率指标提出合理的要求,只要漏孔的漏率已足够小,使得平衡压强低于真空系统工作所需的压强,这些漏孔就是允许的。真空系统正常工作所能允许的做大漏气量,称da允许漏率,包膜式---测漏设备,简称允许漏率。此值不仅是设计真空系统的一项主要指标,也是检漏的依据。
如果已知允许的总气载,而没有具体指明究竟有多大,那么,在设计合理的前提下。da允许漏率q漏=0.1q总,不同真空系统所允许的总漏率也不同。
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在氢气管道方面,氢气管采用无缝钢管制成;管道和管件采用焊接连接,高压柜---测漏设备,以减少可能的泄漏点。管道与设备的喷嘴、阀门等采用法兰或螺纹连接,并在连接中使用金属丝并定期检查粘接电阻,---测漏设备,设备或管道端部是否接地---;所述管道上设有空管、取样口和吹扫口,其位置满足管道中气体吹扫和更换的要求,系统上设有含氧量小于0.5%的氮气置换吹扫设施;氢气排气管应导至室外,排气口应高于屋顶高处1m以上。在排气口设置阻火器,防止外部火花进入系统造成事故,并采取防护措施,防止雨雪侵入、碎片堵塞、雷击。

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