




---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
---质谱检漏仪逆扩散原理
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高,---质谱检漏仪可达1000pa(一般常规检漏仪为0.05pa以下),适合检大型容器或有大漏的器件,也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染,灯丝---等优点。
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---质谱检漏仪是根据质谱学原理,用---气作探索气体制成的气密性检测仪器.其灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡,与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的---气相互碰撞使其电离成正离子,这些离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,轨道半径
r ——离于偏转轨道半径(cm) b ——磁场强度(t)
m/z ——离子的质(量)/(电)荷比(正整数)
u ——离子加速电压(v)
由上式可知,当 r、b 为定值时,改变加速电压可使不同的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
(1)便携式:zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,电力真空箱检漏系统,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可---数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准---峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。---质谱检漏仪由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,sf6充气柜真空箱检漏系统,范围很宽,六---硫充气柜真空箱检漏系统,不仅可检测---气,检漏系统,而且能检测其它气体。
---质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。检漏仪在使用过程中,往往会因为产生的一些故障或是现象,而影响检漏工作的正常进度,若对其---还会危及检漏仪的使用寿命。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的,掌握和了解---质谱检漏仪常见故障的维修技术,有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。
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