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真空箱法---质谱检漏的原理与系统特点

真空箱法---质谱检漏的充气回收检漏系统

1．配置与气路控制

真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。

工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：---气储存罐(高压罐)，---气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。

真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、plc系统(可编程逻辑控制器)，充---回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。

2.系统检测过程

1)、通过v1、v4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭v1，打开v2

2)、充---系统通过v2对工件进行充---至核定的压力，稳定，关闭v2

3)、关闭v4，打开v3、v5，处在正常工作状态待命的---质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断v3、v5，打开v2对---气进行回收。

4)、关闭v2打开v6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。

5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的---气回收，对真空箱和管道巾的---气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。

6)、维持泵有一定的---分流作用，不宜过大(不超过41)，清洁泵也同样。

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检漏仪使用中注意事项

检漏仪在使用过程中需---注意以下几点：

使用的电源电压要在额定的电压范围之内，电压过低仪器启动困难，且性能不稳定，电压过高会烧坏电源，---时还会烧毁母板的电路板和分子泵，铸铝件---检漏设备，应连接稳压电源(ups)。

仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。

检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养，---检漏设备，保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。

本文介绍了5 种检漏仪常见故障的分析与处理方法，其中仪器内部存在泄漏环节是一个易被忽视却又易产生故障的环节，当检漏部位的复检结果不一致时，就需检测仪器内部是否有漏。检漏仪内部结构紧凑，定位难度大，本文采用切断分子泵风扇电源和使用小流量喷枪的方式，提高了密封部位定位的能力。检漏仪是检漏工作的---部件，在使用过程中应严格按照说明书的操作要求进行使用。文中以上出现的故障、现象的处理方式是本单位在多年使用过程中的一个总结和归纳。对检漏---具有一定的参考价值。

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