




(1) 漏率校准 校准系统的组成
校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的---质谱检漏仪组成。
示值误差
通电预热,待---质谱检漏仪启动完成后,采用标准漏孔对---质谱检漏仪进行校准,将一经过校准的标准漏孔接入---质谱检漏仪系统,运行---质谱检漏仪,待漏率示值稳定后,可以读出标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值,同一标准漏孔测量三次,计算---质谱检漏仪示值平均值,从而得到标准漏孔漏率与---质谱检漏仪示值平均值的示值误差。结束后,将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入---质谱检漏仪系统进行测试,得到---质谱检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。
如果测试结果有较大编差,可以考虑---质谱检漏仪的自校功能,待完成后,再用标准漏孔进行测试。
重复性
测量重复性是用实验标准偏差表征的,冷凝器---质谱检漏仪,本校准方法采用极差法来表征重复性。在示值误差测量中,每一标准漏孔用---质谱检漏仪重复测量三次,可用公式(2)计算---质谱检漏仪在该漏率下的重复性。
今天和大家分享的是---质谱检漏仪的校准方法,如您想了解更多的产品信息,您可拨打图片上的电话进行咨询!
1、多种语言和计量单位选择,可选中文界面。
2、135o 电离偏转 (自然---点)的全新质谱技术,金属密封结构。
3、新的电子线路及信号处理设计。
4、小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程。
5、快速清---和快速响应。
6、测试口耐压高,可实现大漏检漏。
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检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度,正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时,在漏点处喷射---气5~10s后,检漏仪就发生响应,对于如此庞大的真空系统,其反应是相当的灵敏。
检漏时喷枪在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上---气在真空系统中的传递时间,即为两次喷---的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。笔者根据实测经验,两次喷---的较小间隔时间控制在30s左右,即如果次喷---后30s内检漏仪还没有反应,则可进行第二次喷---。
清除时间在理论上与响应时间相同,但由于仪器零件对---的吸附和脱附作用的影响,清除时间一般要更长些。笔者---,在测试到数量级为10-9p a ?m3/s的微漏漏点时,清除时间约须1分钟;在测试到数量级为10-8p a ? m3/s的中漏漏点时,清除时间约须2分钟;在测试到数量级为10-7pa?m3/s的大漏漏点时,清除时间在3分钟左右。
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冷凝器---质谱检漏仪欢迎来电由北京科仪---真空技术有限公司提供。北京科仪---真空技术有限公司为客户提供““真空箱式---检漏设备”,“lng低温容器抽真空设备””等业务,公司拥有“真空泵,真空机组,真空非标设备,真空仪表,检漏仪”等品牌,---于行业---设备等行业。欢迎来电垂询,联系人:通总。
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