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科仪---产品主要有:薄膜制备设备,真空冶金设备,检漏设备,真空系统等非标真空产品;系列分子泵,离子泵,钛升华泵,深冷捕集泵等高真空获得设备;系列干式涡旋泵,干式爪泵,干式螺杆泵等无油真空获得设备;真空环境模拟设备等---产品。今天科仪---的小编就和大家分享一下---质谱检漏仪的主要配置有哪些,希望对您有所帮助!
1. 检漏仪---分子泵
2. 机械泵或者干泵
3. 定制检漏仪---电磁阀
4. 内置标准漏口
5. 放大器
6. 采用质谱---模块
真空箱法---质谱检漏的充气回收检漏系统
1.配置与气路控制
真空箱:一般为双工位,两个不锈钢真空箱,开门装置可采用液压方式,或加配重的手动方式。
工件抽空系统:低真空泵及阀门,低真空测量充氮与回收系统:---气储存罐(高压罐),---气回收取罐(低压罐),主压缩机,辅压缩机,过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。
真空箱抽气系统:为自动控制型,由面板、plc系统(可编程逻辑控制器),充---回收系统,真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计,同时,---检漏设备价格,实施对整个系统的工作控制,对检漏过程和结果显示。
2.系统检测过程
1)、通过v1、v4,泵系统对工件和真空箱抽真空,如果限定的时间内抽到限定的真空度,空调蒸发器---检漏设备价格,此时,电气控制系统关闭v1,打开v2
2)、充---系统通过v2对工件进行充---至核定的压力,稳定,关闭v2
3)、关闭v4,打开v3、v5,处在正常工作状态待命的---质谱检漏仪进行检漏,如果不漏,电气控制系统指挥关断v3、v5,打开v2对---气进行回收。
4)、关闭v2打开v6对真空箱放气,开启真空箱更换工件。
5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件,空调两器真空---检漏设备价格,检漏仪声光报警,真空箱---检漏设备价格,将:工作内的---气回收,对真空箱和管道巾的---气通过清洁泵抽除,免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。
6)、维持泵有一定的---分流作用,不宜过大(不超过41),清洁泵也同样。
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