---质谱检漏仪

---质谱检漏仪（helium mass spectrometerleakdetector）为气体工业名词术语，用---气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。---气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，---系惰性气体，不腐蚀设备，故常用---作示漏气体。质谱检漏仪通常选择---气作示踪气体，主要原因如下：1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对---气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

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---质谱检漏仪的应用拓展一

例如火箭发动机及姿态发动机，过去是---刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用---质谱检漏仪检漏，采用正压吸枪与---罩法结合，使检漏灵敏度---提高，从而---了发动机。火箭箭体的检漏采用正压吸枪、---罩法、累集法等几种方法的结合。真空箱---检漏及回收系统在汽车空调的应用一水检和---检两种检漏方法的分析目前，水检和---检两种检漏方法国内汽车空调两器检漏主要的方法，下面将分析两种检漏方法的优缺点。由于检漏技术的应用，提高了检漏灵敏度，弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足。

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北京科仪真空技术有限公司是国内新兴的一家从事真空领域的---企业。

---质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。---质谱检漏仪是根据质谱学原理，用---气作示漏气体制成的气密性检测仪器。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹---气，可以实现漏孔的准确定位。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

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---质谱检漏仪的校准方法

---质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标，通过实验，总结通过---质谱检漏仪对其漏率校准的方法。

---质谱检漏仪原理:

---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不

---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。

---质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过---质谱检漏仪进行漏率部分的校准，本文主要讨论这种情况下---漏率的校准方法。

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