真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，pvd，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果---，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让---离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要---行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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---气检漏仪进行---气检漏方法操作：

1、抽真空至5pa以下就可以开始检测；

2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”灯亮起，等待系统运行；

3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始---气检漏（等待几分钟）；

4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过10mpa,否则机器易损坏；

5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”；

6、逐个将---气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。全部完成充---气后再观察20分钟，看数值有无大的变动。

7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，关电源。

氢气检漏设备

在各种检漏应用场合中，氢气检漏法的出现为您带来了的性能和效率的---提高机会。氢氮混和气检漏法已在---广泛应用于制冷、空调、汽车零部件、发动机、变速箱、减速机、阀门、---包装、飞机油箱油路及其他密封件或管路检漏。氢气检漏法检测灵敏度高、节约成本、操作简便，将是以后检漏技术的发展趋势。设备应适用气密性检测、应具有大漏判定功能，微漏定量检漏功能，工件泄漏总的判定功能，并能满足连续生产的需求，具有较高的自动化程度，操作简便、安全、---。