---质谱检漏仪

---质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。---质谱检漏仪是根据质谱学原理，用---气作示漏气体制成的气密性检测仪器。---气检漏仪---气检漏仪是---质谱检漏仪((heliummassspectrometerleakdetector)的俗称，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的---气相互碰撞使其电离成正离子，这些---离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷---法、吸---法是---质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。

今天和大家分享的是---质谱检漏仪的操作方法，希望对大家有所帮助！

---质谱检漏仪的应用拓展一

例如火箭发动机及姿态发动机，过去是---刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用---质谱检漏仪检漏，采用正压吸枪与---罩法结合，使检漏灵敏度---提高，从而---了发动机。火箭箭体的检漏采用正压吸枪、---罩法、累集法等几种方法的结合。---质谱检漏仪的进展经过近半个世纪的努力，今天的---质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。由于检漏技术的应用，提高了检漏灵敏度，弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足。

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---质谱检漏仪的校准方法

---质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标，通过实验，总结通过---质谱检漏仪对其漏率校准的方法。

---质谱检漏仪原理:

---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不

---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。

---质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过---质谱检漏仪进行漏率部分的校准，本文主要讨论这种情况下---漏率的校准方法。

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（1）新的仪器对空气和残余气体的读数是零，仅对示踪气体有响应。（2）新的仪器本身也是一个抽速较高的真空系统。（3）仪表的指示能够反映出漏孔的大小, 漏量的大小。这三点要求实际上构成了研制新型检漏仪器的准则。在研制过程中, 对传统的检漏方法、光谱仪和皮喇尼规进行了考察。结束后，将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入---质谱检漏仪系统进行测试，得到---质谱检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。发现在实际运用中都存在着不少的缺点。当时,明尼苏达州州立大学的尼尔博士正在研制一种可以记录分子量和原子量大小的质谱仪。经过分析， 雅可比认为如果尼尔博士能够使仪器简化， 那么质谱仪将是一种好的选择性检漏装置。当时还论证了新型检漏装置的示踪气体必须满足三个要求（1）系统的残余气体的质潜中没有它的谱线。即便仪器处于---环境，这种气体在仪器中也几乎不存在。（2）能够在试验状态下很容易地把它从系统中抽出， 所用的示踪气体不会污染系统。（3）分子量低、粘度低、购置方便。显然，---气是满足这三个要求的理想的气体。