真空设备检漏

一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况---，即抽气系统本身的问题。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位，以便修补堵漏。设备应适用气密性检测、应具有大漏判定功能，微漏定量检漏功能，工件泄漏总的判定功能，并能满足连续生产的需求，具有较高的自动化程度，操作简便、安全、---。

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---气

---气穿透能力强，且易，对漏点有---的检出能力，可让细微小洞无处可逃。---气检漏就是采用---气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为---原子的尺寸很小。用---气穿过小洞而进入到管壳内部，---气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞，灵敏度可与性检漏方法---，但要比性检漏方法简便。---气检漏方法：首先把封装好的元器件放入充满---气的容器中，并加压，让---气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留---气；3mpa，周围非常安静的条件下，可以听出5′10-2cm3/s的泄漏率的声音。接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的---气。

氢气的检测仪的选型

固定式氢气检测仪可以24小时在线检测，安装方便，可以连接内网以及第三方平台实时传输。可以储存10万条数据，由气体检测报和固定式可燃检测仪传感器组成，气体检测报警控制器可放置于值班室内，主要对各监测点进行控制，气体浓度越高，电信号越强，当气体浓度达到或超过报警控制器设置的报警点时，报警器发出报警信号，并可启动电磁阀、排气扇等外联设备，自动排除---。氢气检漏法的基本原理氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏，称作氢氮混合气检漏法，或氢气检漏法。

氮气和氢气的混合气的用途

电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中，为减少电能消耗，降低成本，都在研发和使用各种混合气。其间，以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法，因为选用了液化后再汽化的工艺，故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮，其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气，因为液氮来源不同，大多数较差，其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外，液氮多来源于化肥厂，供应上较---，故成本也较高。检漏时将检漏器的灵敏度调到da，一边移动探头，一边侦听，使能听到的超声波发出的声音达到da。